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2009/01/27

ナノワイヤー利用でバッテリの蓄電容量を10倍に、Stanford大学が発表


http://eetimes.jp/article/22653/
【IEDM 2008】ナノワイヤー利用でバッテリの蓄電容量を10倍に、米スタンフォード大学が発表(2008/12/19)
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 米Stanford University(スタンフォード大学)は、米カリフォルニア州サンフランシスコで2008年12月15日~17日の日程で開催された半導体素子の国際学会「2008 IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM 2008)」で、次世代システムに向けてナノワイヤーを利用したバッテリ技術を発表した。

 同大学は、バッテリの電極にナノワイヤーを適用した。同大学によれば、シリコン(Si)材料とゲルマニウム(Ge)材料をベースにしたナノワイヤーを利用することで、グラファイト(黒鉛)によるアノード(陰極)を使う現行のバッテリに比べて、電荷蓄積容量を10倍程度に高められるという。

 同大学の論文によれば、「放電容量は約3100mAh/gが得られており、10回の充放電サイクルで若干低下した。クーロン効率は90%を超えている」という。

 同大学は、LSIに集積するオンチップ電源に向けて、シリコン・ナノワイヤーによるバッテリの電極を作製するCMOSプロセスを開発した。こうしたチップを実現するため、同大学は4インチ・サイズのマスクを覆う微粒子の単分子層も開発したという。

 この微粒子はエッチング用マスクとして機能する。直径は、反応性イオン・エッチング(RIE:Reactive Ion Etching)を使って調整する。RIEは、垂直方向のナノピラー(微小柱)を50n~100nm間隔で作製するのにも使われるという。

(Mark LaPedus:EE Times、翻訳/編集:EE Times Japan)
http://net.eetimes.jp/?4_105606_2148_3

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